蒸氣的容許量單位是kg/h，它是指泵在畸形條件條件下，氣鎮泵在陸續作業時能抽除的蒸氣品質流量。

2、真空泵的抽氣速率：

泵的抽氣速率單位是m3/s或l/s，是指泵裝有規范嘗試罩，并按規程條件作業時，從嘗試罩流過的氣體流量與在嘗試罩指定地位測得的失調壓強之比。簡稱泵的抽速。

3、真空泵的限壓強:

泵的極壓強單位是Pa，是指泵在出口處裝有規范嘗試罩并按規程條件作業，在不引入氣體畸形作業的狀況下，趨勢穩固的工業氣壓強。

4、真空泵的返流率:

泵的返流率單位是g/cm2.s。它是指泵按規程條件作業時，經過泵出口單位面積的泵流品質流率。

5、真空泵的抽速系數：

泵的理論抽速與泵出口處按分子瀉流劃算的實踐抽速之比。